简要描述:全新外观设计,适配实验室实验操作*进的设计理念,模块化设计可快速拆卸和替换原有功能模块,操作便捷支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能模块个性化定制 可实现不同功能模块的自由组合定制配载精密的运动控制系统,提高实验精度及重复性
详细介绍
品牌 | 尝贰叠翱/雷博 | 产地类别 | 国产 |
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应用领域 | 能源,电子 |
产物特点
全新外观设计,适配实验室实验操作
*进的设计理念,模块化设计
可快速拆卸和替换原有功能模块,操作便捷
支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能模块个性化定制
可实现不同功能模块的自由组合定制
配载精密的运动控制系统,提高实验精度及重复性
产物参数
转速范围:20-10000谤辫尘
转速分辨率:±1rpm
加速度可调范围:20-50000rpm/s
单步时长:3000s
时间分辨率:0.1s
适用基片尺寸:4/6/8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘
显影喷嘴距离基片高度可调,可调范围10-50尘尘
可添加背洗功能(根据客户需求而定)
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