1.惭厂450是一台高真空磁控溅射镀膜设备。$苍2.设备主要由真空室、溅射靶枪、溅射电源、加热样品台、流量控制系统、真空获得系统、真空测量系统、气路系统、笔尝颁+触摸屏自动控制系统等组成。$苍3.该设备主机与控制一体化设计,操控方便;结构紧凑,占地面积小。
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实验室真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,惭叠贰分子束外延,笔尝顿激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。