一起来了解一下匀胶机的旋转涂覆技术是什么吧
匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。
下面让我们一起来了解一下匀胶机的旋转涂覆技术吧
旋转涂覆技术所使用的设备是匀胶机。
匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。
总的来说,他们原理都是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
从其原理来说,匀胶机有以下两个特点。
(1)旋转速度
转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。目前转速控制方面有认定标准,如美国狈滨厂罢标准等。
(2)真空吸附系统
真空泵一般采用无油泵,即通常说的干泵,因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况,还会让滴的胶液不慎进入真空管道系统造成*堵塞。有的匀胶机通过联动机制,当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎进入真空管道系统。